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硅拋光片

硅拋光片規格


厚度(μm) 總厚度變化(μm)平整度(μm)彎曲度(μm)翹曲度(μm)顆粒度LLS(ea)
區熔單晶硅拋光片單面拋光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
雙面拋光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
直拉單晶硅拋光片單面拋光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
雙面拋光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm

             注:如果幾何參數有特殊要求,可以根據客戶的要求制定。

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